Vous êtes ici : Accueil > PsD-DRT-17-0032

Postdocs

PsD-DRT-17-0032

Publié le 7 décembre 2023
PsD-DRT-17-0032
Domaine de rechercheElectronique et microélectronique - Optoélectronique

Domaine-SPhysique du solide, surfaces et interfaces

ThèmeSciences pour l’ingénieur

Theme-SPhysique de l’état condensé, chimie et nanosciences

Domaine
Electronique et microélectronique - Optoélectronique Sciences pour l’ingénieur Physique du solide, surfaces et interfaces Physique de l’état condensé, chimie et nanosciences DRT DPFT SCMC Autre Grenoble
Intitulé de la proposition
Minimisation des dommages induits par la gravure par plasma sur les flancs des motifs de semi-conducteurs III-V
Resumé
Ce projet consiste en l’étude des dommages induits par la gravure par plasma sur les flancs des motifs de semi-conducteurs III-V, afin de développer des solutions technologiques innovantes capables de les minimiser. Nous cherchons à mieux comprendre par quels mécanismes et dans quelle mesure les procédés de gravure plasma modifient les flancs des motifs de semi-conducteurs III-V et les conséquences que cela induit sur les propriétés optiques des dispositifs. Le semi-conducteur étudié sera l’Al0.17Ga0.83As qui possède d’excellentes propriétés opto-électroniques et un gain paramétrique non-linéaire fort. Le PostDoc se focalisera sur la compréhension des mécanismes d’endommagement par gravure plasma. Il s’agira de déterminer quels sont les paramètres clés de la gravure plasma qui influencent les changements structuraux et chimiques observés sur les flancs de l’Al0.17Ga0.83As ainsi que les changements des propriétés optiques. Cela nécessitera le développement d’une méthodologie de caractérisation 3D quantitative à l’échelle nanométrique des flancs de gravure, basée sur la microscopie Auger et la cathodoluminescence. L’objectif sera ensuite de corréler les défauts structuraux induits par gravure plasma aux modifications des propriétés optoélectroniques. Enfin, le travail consistera à développer un procédé de gravure plasma permettant de minimiser les dommages induits sur les flancs, en explorant des techniques innovantes et alternatives. Des procédés de restauration et de passivations de ces flancs seront aussi étudiés.
Informations pratiques
Département des Plateformes Technologiques (LETI) Service Caractérisation des Matériaux et Composants Autre laboratoire
Date début de la proposition03/01/2017
email personne à contactereugenie.martinez@cea.fr
Personne à contacter
MARTINEZ Eugénie CEA DRT/DPFT//LASI CEA-Leti 17 av des martyrs 38054 Grenoble Cedex 9 0438781951

Retour à la liste